高端電子工藝裝備

【1】集成電路裝備

產業介紹：電控公司的集成電路裝備以七星電子（北方微）（A股代碼：002371）為載體，借助上市平臺和國家重大科技專項加快產業發展，產品以集成電路設備為主，并結合市場需求向光伏、先進封裝、LED、MEMS、光波導、功率器件和化合物半導體等應用領域拓展。七星電子（北方微）先后承擔11項國家重大科技02專項，技術水平快速提升，填補了國內12英寸高端刻蝕機、PVD、CVD、氧化爐、清洗機等設備技術空白，大部分產品實現了28nm的產業化認證，刻蝕機、PVD已開始14nm技術的研發。 

12英寸28nm刻蝕機、PVD、氧化爐等設備均已進入了國內知名集成電路制造企業大生產線，多款產品已成為LED、先進封裝、MEMS等泛半導體領的主流產品，市場開拓工作成效顯著。其中12英寸、28nmHardMask PVD設備及12英寸55nm硅刻蝕設備已作為中芯國際的Baseline設備。

重要產品：刻蝕設備（Etch）、化學氣相沉積設備（CVD）、物理氣相沉積設備（PVD）立式爐、LPCVD、超精細清洗機、ALD設備。 

【2】鋰電裝備

北京電控可提供全套的鋰離子電池極片生產所需的攪拌、涂布、輥壓、分切設備。

成功研制大容量的（400L、600L、800L、1000L、2000L）攪拌設備，已掌握自動上料技術、攪拌過程程序化控制、攪拌料評價等技術；成功開發出了擠出式涂布設備，涂布速度10-20m/min（最高達到30m/min）。成功開發出了液壓伺服輥壓設備，極片軋制速度達到20-30m/min（最高達到60m/min），掌握了極片熱軋技術、輥電鍍技術、AGC液壓伺服控制型等核心技術。

分切設備可分切卷材寬度達700mm，生產效率達到50m/min（最高水平達到80m/min），并開發了設備CCD測控系統降低了產品廢品率。于此同時，成功的搭建了20000Ah鋰離子動力電池中試線，為自產設備提供了工藝驗證平臺，具備提供整線解決方案的能力。